KT1000系列
使用电加热器为热源的高效废气处理设备
前后水洗喷淋技术为康肯公司专利，最适合PE-CVD、LP-CVD等工艺的废气处理
KT1000MFH
专门对应大量粉尘工艺的M型・F型混合机型，节能模式为标配
- 可对应300mm半导体生产线，液晶生产线等高复合工艺的废气处理
- 在节能模式下可减少水，电的消耗，降低运行成本
- 便于维护保养，占地空间小
KT1000MFS
为对应高复合废气处理的KT1000MF升级版。体积小，成本低。
- 可对应300mm半导体生产线，液晶生产线等高复合工艺的废气处理
- 体积小、成本低、初期投资少。
- 便于维护保养，占地空间小
KT1000EPS
可安全处理含有高浓度H2废气的设备
- 利用电加热器特有的安全性，在处理高浓度H2气体时更加安全。适合Epi制程工艺。
- 利用可燃气体的自燃能力，当可燃气体流入时,加热器使用电力几乎为零。
- 可在入口水洗喷淋处事先除去水解、水溶性气体。
- 可处理遇水后反应成固体的气体，例如TCS、DCS，不阻塞管道。
- 在出口水洗喷淋处可处理副生成气体
- 装配紧急制动系统
KT1000MOC
將MO-CVD设备使用的大流量NH3、H2，以电加热方式进行高温氧化分解。
- 有机金属化合气体，SiH4等也能氧化处理。
- 不使用任何化石燃料进行处理。划时代的技术，完全不同于以往。
- 使用大流量NH3、H2的反应热能，处理时加热器不需要电力，彻底的节能设计。
- 为了安全处理高浓度的H2或NH3，本设备装配有“失效安全”模式。
- 进口管装有温度感应器，时刻监视进口气体温度。当进口温度上升时，会紧急稀释管道内气体并启动防回火安全装置。