KT1000시리즈
히터를이용한 고효율 제해장치
PE-CVD공정, LP-CVD공정 등의 배기가스 처리에 적합한 장치
KT1000MFH
에너지절약형으로 파우더 발생이 많은 공정에 적합한 모델
- 300mm반도체 제조라인, 액정생산라인 등 파우더 발생이 많은 생산라인의 배기가스 처리에 대응
- 물, 전기 사용량을 줄인 에너지 절약형으로 운용비용 절감
- 장치 전후의 적은 유지보수 공간
KT1000MFS
고부하가스의 처리에 대응한 KT1000MF의 진화버전으로 에너지 절약 베이스〮저코스트 장치입니다.
- 300mm반도체제조라인이나 액정생산라인 등의 고부하라인의 배기가스 처리에 대응
- 공간 절약형저코스트를 실현, 설치하기 쉽고 저렴한 가격
- 장치 전후면의 적은 유지보수 공간
KT1000EPS
고농도H2를 포함한 가스를 안전하게 처리할 수 있는 장치입니다.
- 전기히터 특유의 안정성에, 고농도 H2가스처리에 대응합니다. Epi공정용 장치
- 가연성가스의 연소열을 활용하여 히터전력 절감
- 입구스크러버에서 가수분해성•가용성 가스를 사전에 제거
- TCS나 DCS와 같이, 수분과 반응하여 고체를 생성하는 가스도 막힘없이 처리가능
- 출구스크러버로 부산물 가스를 제해
- 안전장치 기본 탑재
KT1000MOC
MO-CVD공정장비에 사용하는 대량의 NH3, H2를 고온의 전기히터로 분해처리하는 장치.
- 유기금속화합물(MO)가스, SiH4 등도 산화제해
- 화석연료등 연료가스는 일절 사용하지 않습니다. 또, 기존의 방식과는 완전히 다른 획기적 제해방식
- 대용량NH3,H2의 반응열 에너지를 사용하고 있으므로, 처리시는, 히터전력을 필요로 하지 않습니다.
철저한 에너지 절약 설계 - 고농도의 H2나 NH3를 안전하게 제해하기 위해 안전장치를 구비
- 입구도입관에 설치된 고온 센서는 상시 입구가스 온도를 감시. 입구온도 상승시에, 신속하게 배관내를 긴급 희석하는 역화방지 안전 장치 등, 각종 안전 장치를 구비