KT1000系列
使用加熱器為熱源的高效率除害設備。
擁有取得專利的前後水洗技術，最適合PE-CVD、LP-CVD等製程的排氣處理。
KT1000MFH
標準搭載節能模式。為對應多粉塵的M型・F型融合機。
- 對應300mm半導體產線、液晶產線等高負荷產線的排氣處理
- 標準搭載能減少水、電用量的節能模式，更加降低運轉成本
- 可從前後兩面維修保養，不佔空間。
KT1000MFS
為對應高負荷氣體處理的KT1000MF進化版。節省空間，低成本。
- 對應300mm半導體產線、液晶產線等高負荷產線的排氣處理
- 節省空間、低成本、負擔輕鬆的銷售價格。
- 可從前後兩面維修保養，不佔空間。
KT1000EPS
為可安全處理含有高濃度H2氣體的設備。
- 利用電熱式加熱器特有的安全性，對應處理高濃度H2氣體。適合Epi製程。
- 活用可燃氣體的自燃能量。當可燃氣體流入時，達成加熱器使用電力幾乎為零。
- 耐氣體流動、變動，不中斷燃燒。在入口水洗處事先除去水解、可溶性氣體。
- 可處理會和水分反應產生固狀物的氣體，如TCS、DCS，不阻塞。
- 在出口水洗處除害副生成氣體。
- 標準搭載失效安全機構。
KT1000MOC
將MO-CVD設備使用的大流量NH3、H2，以電熱式加熱器的高溫爐熱氧化分解。
- 有機金屬化合物(MO)氣體、SiH4等也能氧化除害。
- 一切不使用化石燃料等燃料氣體。劃時代的除害方式和既有方式完全不同。
- 使用大流量NH3、H2的反應熱能量，處理時加熱器不需要電力，徹底節能機構。
- 為了安全除害高濃度的H2或NH3，具有失效安全機構。
- 入口導入管設有溫度感測器，常時監視入口氣體溫度。設備內具有當入口溫度上昇時，會迅速緊急稀釋管路內的防回火安全機構等各種安全機構。