KT系列

混合式的处理设备是以电加热器为点火机构,利用燃料的燃烧热度来处理废气。
区别于一般的燃烧装置不同的是不使用点火器。      
而且反应炉是蓄热构造,不会熄火。

KT1000HBD

混合式的处理设备是以电加热器为点火机构,利用燃料的燃烧热度来处理废气。     
区别于一般的燃烧装置不同的是不使用点火器。
而且反应炉是蓄热构造,不会熄火。

  • 和电加热式相比,本设备可用小型反应炉处理Etch制程工艺的大流量废气(600slm)。
  • 混合式处理设备利用电加热器点燃燃料,实现了不会熄火的稳定燃烧处理。
  • 本系列设备的排出气体比燃烧式少。粉尘,水分对管道的影响也较少,不易造成管道堵塞。
  • 入口水洗喷淋具备耐腐蚀功能。改变循环水的循环方法后大幅改善了处理设备的耐腐蚀性。
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