KT系列

混合式除害設備是以加熱器為點火源,利用燃料的燃燒熱來處理排氣。
和一般的燃燒裝置不同的是不使用導燃器。      
而因為反應爐是蓄熱構造,為不會熄火的設備。

KT1000HBD

混合式除害設備是以加熱器為點火源,利用燃料的燃燒熱來處理排氣。     
和一般的燃燒裝置不同的是不使用導燃器。
而因為反應爐是蓄熱構造,為不會熄火的設備。

  • 和以往的電熱式加熱器相比,可用小型反應爐處理除害Etch製程的大流量排氣(600slm)。
  • 混合式除害設備利用電熱式加熱器點燃燃料,實現了不會熄火的穩定燃燒除害。
  • 除害設備的排出氣體量比燃燒式少。飛塵、水分對排氣管道的影響也較少。
  • 入口水洗機構耐腐蝕。變更循環水的循環方法後大幅改善了除害設備的耐腐蝕性。
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