KT系列
混合式除害設備是以加熱器為點火源,利用燃料的燃燒熱來處理排氣。 和一般的燃燒裝置不同的是不使用導燃器。 而因為反應爐是蓄熱構造,為不會熄火的設備。
KT1000HBD
混合式除害設備是以加熱器為點火源,利用燃料的燃燒熱來處理排氣。 和一般的燃燒裝置不同的是不使用導燃器。 而因為反應爐是蓄熱構造,為不會熄火的設備。
- 和以往的電熱式加熱器相比,可用小型反應爐處理除害Etch製程的大流量排氣(600slm)。
- 混合式除害設備利用電熱式加熱器點燃燃料,實現了不會熄火的穩定燃燒除害。
- 除害設備的排出氣體量比燃燒式少。飛塵、水分對排氣管道的影響也較少。
- 入口水洗機構耐腐蝕。變更循環水的循環方法後大幅改善了除害設備的耐腐蝕性。