KT1000HBD

ハイブリッド除害装置とはヒータを着火源とし、燃料の燃焼熱により排ガスを処理する装置通常の燃焼装置と異なりパイロットバーナを使用せず、 　　　　
又、炉が蓄熱構造のため、失火が無い装置です

• 従来の電気ヒータ式に比較し、小型の反応炉で大流量除害（600slm）のEtch工程で排出ガスの処理が可能
• ハイブリッド除害装置は、電気ヒータで燃料を着火させることにより、失火のない安定した燃焼除害を実現
• 除害装置からの排気ガス量は、燃焼式に比較して少ないので、ダストや水分の、排気ダクトへの影響は少ない
• 耐腐食性入口スクラバーと、循環水の循環方法の変更で除害装置の耐腐食性を大幅に改善