KT1000シリーズ

熱源としてヒーターを用いた、高効率除害装置

特許取得の前後スクラバーを有し、PE-CVD工程、LP-CVD工程等の排ガス処理に最適です

KT1000MFH

省エネモードを標準装備した、高負荷粉塵対応のM型・F型融合機です

  • 300mm半導体製造ラインや、液晶生産ライン等の高負荷ラインの排ガス処理に対応
  • 水・電気使用量を削減する省エネモード標準装備で、更にランニングコストを低減
  • 前背面の2方向低メンテナンスエリア

KT1000MFS

高負荷ガスの処理に対応したKT1000MFの進化版で省スペース・低コスト装置です

  • 300mm半導体製造ラインや、液晶生産ライン等の高負荷ラインの排ガス処理に対応
  • 省スペース低コストを実現し、設置しやすくお求め安い価格
  • 前背面の2方向低メンテナンスエリア

KT1000EPS

高濃度H2を含むガスを、安全に処理できる装置です

  • 電気ヒーターならではの安全性で、高濃度H2ガス処理に対応しました。Epi工程向け装置
  • 可燃ガスの自燃エネルギーを活用して可燃ガス導入時、ヒータ電力はほぼゼロを達成
  • 燃焼中断がなく流動変動に強い。入口スクラバで加水分解性・可溶性ガスを事前に除去
  • TCSやDCSのように、水分と反応して固体を生成するガスも閉塞なく処理可能
  • 出口スクラバで副生成ガスを除害
  • フェールセーフ機構を標準搭載

KT1000MOC

MO-CVD装置で使用する大流量のNH3、H2を、電気ヒータ式高温炉で熱酸化分解装置です

  • 有機金属化合物(MO)ガス、SiH4等も酸化除害
  • 化石燃料等燃料ガスは一切使用しません。また、既存の方式とは全く違う画期的除害方式
  • 大流量NH3, H2の反応熱エネルギーを利用していますので、処理時は、ヒータ電力を必要としません。
    徹底した省エネ機構
  • 高濃度のH2やNH3を安全に除害するための、フェールセーフ機構を具備
  • 入口導入管に設置された温度センサーは常時入口ガス温度を監視。入口温度上昇時に、速やかに配管内を緊急希釈する逆火防止安全機構等、各種の安全機構を具備
075-955-8825
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