KPL系列
利用常压等离子，处理难分解的PFC气体
利用稳定的直流等离子产生的高温，处理难分解的PFC气体(SF6、CF4等)
KPL-C13
可以同时处理难分解的CF4或卤素气体、SiH4、TEOS，及副生成的氟素系气体。
- 只需电和水就可分解处理难分解的CF4和卤素气体。
- 分解后副生成的氟素系气体，可藉内置的水洗喷淋系统一并处理。
KPL-C13-W
可对应高水解性，易生成粉尘的气体(BLC3)，可对应Metal-Etch的废气处理
- 只需电和水就可分解处理难分解的CF4和卤素气体。
- 分解后副生成的氟素系气体，可藉内置的水洗喷淋系统一并处理。