KPL시리즈
대기압 플라즈마를 이용하여, 난분해성의 PFC가스를 처리하는 장치
안정된 직류 플라즈마의 고온에 의해, 난분해성의 PFC가스(SF6, CF4등)도 분해제거합니다.
KPL-C13
난분해성의 CF4나 할로겐 가스, SiH4, TEOS, 및 부산물로 생성되는 불소계 가스를 1대로 동시처리가 가능
- 전기와 물만으로 난분해성의 CF4와 할로겐 가스를 처리가능
- 분해에 의해 부산물로 생성되는 불소계 가스도, 내장된 스크러버로 1대로 처리가능
KPL-C13-W
가수분해 반응성이 높은 분진생성가스(BCL3)에 대응한, Metal-Etch용 제해장치
- 전기와 물만으로 난분해성의 CF4와 할로겐가스를 분해처리
- 가스 처리 시 생성되는 불소계열 가스도 처리 가능