KPLシリーズ
大気圧プラズマを用いて、難分解性のPFCガスを処理する装置
安定した直流プラズマの高温により、難分解性のPFCガス（SF6、CF4等）も分解除去します
KPL-C13
難分解性のCF4やハロゲンガス、SiH4、TEOS、 及び副生成するフッ素系ガスを1台で同時処理可能です
- 電気と水だけで 難分解性のCF4とハロゲンガスを分解処理
- 分解により副生成するフッ素系ガスも、内蔵のスクラバーにより1台で処理可能
KPL-C13-W
加水分解反応性の高い粉塵生成ガス(BCL3)に対応した、Metal-Etch用除害装置です
- 電気と水だけで 難分解性のCF4とハロゲンガスを分解処理
- 分解により副生成するフッ素系ガスも、内蔵のスクラバーにより1台で処理可能