KD시리즈
흡착형의 건식배기가스 제해장치
흡착형의 건식배기가스 제해장치. 밀폐처리가 필요한 AsH3등을 안전하게 처리하는 장치
- AsH3 등 개방처리가 불가능한 독성가스도 밀폐구조로 안전하게 처리.
- 물을 사용하지 않고 가스(SiH4 등)를 처리할 때 유용함. 연료를 사용하지 않기 때문에 CO2 배출 없음.
- 2개의 건식장치 장착으로 전환사용 가능(선택사양)
흡착형의 건식배기가스 제해장치. 밀폐처리가 필요한 AsH3등을 안전하게 처리하는 장치
고효율의 소형 스크러버 2개가 내장된 특수 구조로 수용성・가수분해성 가스를 효과적으로 처리할 수 있는 장치
촉매로 저온에서 효과적으로 분해처리하는 장치입니다.