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カンケンテクノ株式会社 未来環境を創造するカンケンテクノ
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製品紹介/UVアニール装置
UVアニール装置
比誘電率の低減・機械的強度の向上
UVアニール装置は、UV(紫外線)と熱処理を複合化させた装置であり絶縁膜等を改質する事を目的として開発しました。
(産業技術総合研究所と共同開発)
特徴
アプリケーション
・Low-k膜に最適。
・高ストレス SiN膜に最適。
・密着性向上に最適。
・絶縁層の強度向上に最適。
単波長エキシマランプを採用
172nm、222nmの2波長を選択可能。
装置概要
SPX-1120
(デモ用装置)
200/300mm対応
SPX-300
(実験用装置)
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