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カンケンテクノ株式会社 未来環境を創造するカンケンテクノ
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製品紹介/排ガス処理装置/KPLシリーズ
KPLシリーズ
大気圧プラズマを用いて、難分解性のPFCガスを処理する装置
安定した直流プラズマの高温により、難分解性のPFCガス(SF6、CF4等)も分解除去します。
特徴
燃料不要
燃料配管施工によるイニシャルコストや、燃料のランニングコストが不要。
直流大気圧プラズマ使用
安定放電が可能なため、失火の恐れがありません。
また、安全な電気を用いているため、安心です。
単純な反応器構造
反応槽及びプラズマ発生部分はシンプルな構造の為、メンテナンスがしやすく低コストを実現しました。
同時除害が可能
電気と水だけで、CF4、SF6のようなPFCガスと、HBr、CL2、BCl3のようなハロゲンガスを同時に処理することが可能です。
装置概要
KPL-C13s
難分解性のCF4やハロゲンガス、SiH4、TEOS、 及び副生成するフッ素系ガスを1台で同時処理可能です。
電気と水だけで 難分解性のCF4とハロゲンガスを分解処理します。
分解により副生成するフッ素系ガスも、内蔵のスクラバーにより1台で処理可能です。
処理装置 W:900×D:950×H:1900(mm)
処理装置 50〜400L/min(除害対処ガスに依る)
処理装置
CF4 SF6 HBr HF BCl3 HCl TEOS
SiH4 Si2CL2 etc.
及び
NF3 F2 CLF3 etc.
KPL-C13s-W
加水分解反応性の高い粉塵生成ガス(BCL3)に対応した、Metal-Etch用除害装置です。
電気と水だけで 難分解性のCF4とハロゲンガスを分解処理します。
分解により副生成するフッ素系ガスも、内蔵のスクラバーにより1台で処理可能です。
処理装置 W:950×D:1300×H:1900(mm)
処理装置 50〜400L/min(除害対処ガスに依る)
処理装置
CF4 SF6 HBr HF HCl BCl3 TEOS
SiH4 Si2CL2 etc.
及び
NF3 F2 CLF3 etc.
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