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製品紹介/排ガス処理装置/KDシリーズ
KDシリーズ
吸着型の乾式排ガス除害装置。
密閉処理の必要なAsH3等を安全に処理
FEATURES
毒性の高いAsH3等の処理が密閉処理が可能
開放処理の不可能な毒性の強いガスも、密閉構造により安全に処理可能。
燃料・給水が不要
SiH4等のガスを、水を用いて処理することができない場合に有効です。
また燃料を用いない為、CO2の排出がありません。
2塔式装置も用意
カラム2塔内蔵型による、切替使用が可能な装置もご用意。
わ自動切換えシステムもございます。
OUTLINES
KD101
1塔式タイプ
処理装置 W:1200×D:700×H:1600(mm)
処理装置 100L/min
処理装置 常温
処理装置
AsH3 SiH4 PH3 etc.
KD102
2塔式タイプ
1塔が破過した場合、もう1塔で切替処理が可能です。
処理装置 W: ×D: ×H: (mm)
処理装置 100L/min
処理装置 常温
処理装置
AsH3 SiH4 PH3 etc.
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